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IWAKI（易威奇） 风囊泵
 
在半导體(tǐ)制造过程中的超净规格用(yòng)泵，有(yǒu)良好的跟踪记录。波纹管泵寿命長(cháng)，停机时间短。
所有(yǒu)接液部件都使用(yòng)氟塑料，它们可(kě)以处理(lǐ)用(yòng)于半导體(tǐ)应用(yòng)的化學(xué)品，如酸、碱和过量的水。泵的外表面涂有(yǒu)氟塑料，因此没有(yǒu)金属零件暴露出来。
特点：

• 优秀的设计，波纹管使用(yòng)寿命長(cháng)。
• 使用(yòng)耐化學(xué)腐蚀和耐热氟塑料对所有(yǒu)被润湿部件进行无污染设计。
• 泵头和波纹管焊接成整體(tǐ)结构，消除了流體(tǐ)泄漏的问题。

 
FLP-60W  低脉动气动风囊泵

低脉动
独特的系统驱动机制，确保气囊最佳运动效果，将脉动减到最低。
 
减低压缩空气消耗量
在不影响泵的性能(néng)下，减少高达30%的压缩空气消耗量。
 
高持续压力
最佳的气囊运动，有(yǒu)效提高压力的承受能(néng)力，以维持稳定的流量和负载频繁变化下的吐出压力，尤其在单晶圆处理(lǐ)过程中。
 
无需阻尼器
泵的运作无需使用(yòng)阻尼器，节省设备空间及安装费用(yòng)，例如氟塑料接管等。整體(tǐ)设备的重量/尺寸得以最小(xiǎo)化。

规格

最大流量 L/min	50
最大脉动宽度 MPa	0.06
液體(tǐ)温度范围 °C(MPa) (最大压缩空气压力)	5 ~ 100 (0.5), 101 ~ 150 (0.4), 151 ~ 180 (0.3)
压缩空气压力范围 MPa	0.41~0.5	0.31~0.4	0.21~0.3	0.11~0.2	0.1
最高冲程率 spm	120	140	155	160
最大压缩空气消耗量 NL/min	464	419	338	252	116
最大粘度 mPa·S	50
吸程 m	1
环境温度 / 湿度 °C/%RH	0 ~ 40 (非冷凝) / 30 ~ 60 (非冷凝)
储存温度 / 湿度 °C/%RH	-10 ~ 60 (非冷凝) / 20 ~ 70 (非冷凝)
操作方式	间隔 /连续
驱动方式	外部压缩空气
接头尺寸 mm	Ø25 x Ø22 软管
压缩空气接头尺寸	Rc3/8
空气端口	Ø6 一触式接头
重量 kg	22

 
 
 
FS 系列  外型小(xiǎo)巧、低成本、高速冲程的气动风囊泵

高速冲程
提升泵的冲程速度 (最高达240 spm)，让制造过程中，大大减少泵的尺寸、重量、成本，及降低脉动。
 
无污染设计
过流端零件均采用(yòng)氟树脂材质，没有(yǒu)金属零件外露的设计，外壳采用(yòng)氟树脂材质。使用(yòng)独有(yǒu)的轴封 (已申请专利)，能(néng)显著降低颗粒的产生。
 
液體(tǐ)输送温度范围宽泛/高吐出压力
液體(tǐ)输送温度范围高达5 - 180°C，吐出压力高达45MPa。不仅适用(yòng)于清洗和CMP制程，同时适用(yòng)于化學(xué)液體(tǐ)供药。
 
易于维护
更换开关无需拆卸，不需定期收紧螺栓，减少了停机时间。
 
传感器驱动系统
内置式开关通过传感器驱动系统打开/关闭電(diàn)磁阀。因此，即使连接各种控制器，亦可(kě)以轻易控制吐出量。
 
规格：

最大吐出量	55 L/min
最大吐出压力	0.5 MPa
最大耗气量	670 NL/min
最大冲程率	240 spm
主要材质	PTFE, PFA
液體(tǐ)输送温度范围	5 ~ 180 °C

 
 
FS-N 系列  适用(yòng)于各类供药系统，吐出量达100L/min

高速冲程
高速冲程 (FS-80N最高达200 spm)，让结构紧凑、重量轻、成本低，可(kě)同时用(yòng)于高流量及高压力工况。
 
无污染设计
过流端采用(yòng)氟树脂无污染构造，使用(yòng)独有(yǒu)的轴封显著降低颗粒的产生(已申请专利)。
 
高流量及高吐出压力
最大吐出量高达0.7MPa，不仅满足化學(xué)供药过程中高流量及高吐出压力的需求，同时适用(yòng)于清洗及CMP制程。
 
传感器驱动系统
内置式开关通过传感器驱动系统打开/关闭電(diàn)磁阀。因此，即使连接各种控制器，亦可(kě)以轻易控制吐出量。